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J-GLOBAL ID：200902187987497828   Reference number：96A0544585

Microstructural and electrical properties of transparent conductor InGaZnO4 thin films.

InGaZnO₄透明導電性薄膜の微構造と電気特性

Author (5)： TAKEUCHI MEGUMI (HOYA) ,  NAKAYAMA SHIN (HOYA) ,  SAKAI HIROYUKI (HOYA) ,  ORITA MASAHIRO (HOYA) ,  YAMAGUCHI YOICHI (HOYA)
Material： 日本セラミックス協会年会講演予稿集
Volume： 1996  Page： 111  Publication year： Apr. 1996 
JST Material Number： X0505A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (2)： 透明導電性薄膜 ,  電気特性