Art

J-GLOBAL ID：200902188136761073   Reference number：02A0698110

Quinhydrone/Methanol Treatment for the Measurement of Carrier Lifetime in Silicon Substrates.

シリコン基板のキャリア寿命測定に用いるキンヒドロン/メタノール処理

Author (3)： TAKATO H (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  SAKATA I (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  SHIMOKAWA R (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 41  Issue： 8A  Page： L870-L872  Publication year： Aug. 01, 2002 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silicon ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=02A0698110&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0599B") }}

JST classification (1)： Electric conduction in crystalline semiconductors  (BM03043X)

Substance index (2)： Quinhydrone ,  Methanol

Reference (8)：

• 1) E. Yablonovitch, D. L. Allara, C. C. Chang, T. Gmitter and T. B. Bright: Phys. Rev. Lett. 57 (1986) 249.
• 2) T. Nammori, K. Okamoto, T. Nunoi and Y. Hayashi: Jpn. J. Appl. Phys. 29 (1990) L166.
• 3) T. S. Horanyi, T. Pavelka and P. Tutto: Appl. Surf. Sci. 63 (1993) 306.
• 4) H. M'saad, J. Michel, J. Lappe and L. C. Kimerling: J. Electron. Mater. 23 (1994) 487.
• 5) A. W. Stephens and M. A. Green: Sol. Energy Mater. & Sol. Cells <B>45</B> (1997) 255.

Terms in the title (5)： シリコン基板 ,  キャリア ,  寿命測定 ,  キンヒドロン ,  メタノール