Art

J-GLOBAL ID：200902188182472574   Reference number：00A0287184

1.5-Mbit/s direct readout of line-and-space patterns using a scanning near-field optical microscopy probe slider with air-bearing control.

空気軸受制御による走査近視野光学顕微鏡法プローブスライダを用いた線-間隔パターンの1.5Mbit/s直接読取

Author (4)： ISSIKI F (Hitachi Ltd., Tokyo, JPN) ,  ITO K (Hitachi Ltd., Tokyo, JPN) ,  ETOH K (Hitachi Ltd., Tokyo, JPN) ,  HOSAKA S (Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 76  Issue： 7  Page： 804-807  Publication year： Feb. 14, 2000 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *microprobe ,...
Semi thesaurus term： *near field(optics) ,...

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JST classification (2)： Electronic recording,magnetic recording,optical recording  (NC06020F) ,  Optical instruments and techniques in general  (BD07010S)

Terms in the title (7)： 空気軸受 ,  走査 ,  近視野 ,  光学顕微鏡法 ,  プローブ ,  スライダ ,  読取