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J-GLOBAL ID：200902188791642338   Reference number：98A0194496

Analysis of condensed exhaust byproducts from atmospheric pressure silicon epitaxy.

常圧シリコンエピタキシーからの凝縮排気副生物の解析

Author (6)： COMITA P (Applied Materials, Inc., CA) ,  CARLSON D (Applied Materials, Inc., CA) ,  CHANG Y (Applied Materials, Inc., CA) ,  KLINCK K (Applied Materials, Inc., CA) ,  WALDHAUER A (Applied Materials, Inc., CA) ,  RANGANATHAN R (Applied Materials, Inc., CA)
Material： Proceedings of the 14th International Conference on Chemical Vapor Deposition, 1997 and EUROCVD-11  (Proc 14th Int Conf Chem Vap Depos 1997 EUROCVD-11)
Page： 684-692  Publication year： 1997 
JST Material Number： K19970674  ISBN： 1-56677-178-1  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： silicon dioxide ,...

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JST classification (2)： Mass spectrometry  (CC03013N) ,  Crystal growth of metals  (BK13030M)

Terms in the title (5)： 常圧 ,  凝縮 ,  排気 ,  生物 ,  解析