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J-GLOBAL ID：200902188909540888   Reference number：02A0355692

Fluorinated Polyimide Waveguide Fabricated Using Replication Process with Antisticking Layer.

反付着層をもつ複製過程を使用して作製したふっ素化ポリイミドの導波路

Author (1)： SHIODA T (Mitsui Chemicals, Inc., Chiba, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 41  Issue： 3A  Page： 1379-1385  Publication year： Mar. 15, 2002 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *optical waveguide ,...

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JST classification (2)： Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H) ,  Physical properties of polymer solids  (CG02024U)

Reference (21)：

• 1) S. Nakamura: Optronics (1997) No. 12, 145 [in Japanese].
• 2) T. Yoshimura, J. Roman, Y. Takahashi, M. Lee, B. Chou, S. I. Beilin, W.-C. V. Wang and M. Inao: Proc. 3rd 1999 IEMT/IMC Symp., April 21-23, Omiya, Japan, 1999, p. 140.
• 3) N. Koshoubu, S. Ishizawa, M. Hosoya and H. Tsunetsugu: Proc. 3rd 1999 IEMT/IMC Symp., April 21-23, Omiya, Japan, 1999, p. 155.
• 4) S. Lehmacher and A. Neyer: Electron. Lett. 36 (1997) 1052.
• 5) P. M. Ferm and L. W. Shacklette: Proc. SPIE 4106 (2000) 1.

Terms in the title (6)： 複製 ,  過程 ,  作製 ,  ふっ素化 ,  ポリイミド ,  導波路