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J-GLOBAL ID：200902189596653720   Reference number：97A0978107

Integration of BPSG in a 0.25μm dual damascene process.

Author (7)： GAMBINO J P (IBM, NY) ,  STENGL R (Siemens, NY) ,  JASO M A (IBM, NY) ,  YOSHIKAWA S (Toshiba, NY) ,  TSUNASHIMA Y (Toshiba, NY) ,  ASAO Y (Toshiba, NY) ,  LEVINE E (IBM, NY)
Material： Proceedings. 14th International VLSI Multilevel Interconnection Conference, 1997  (Proc 14th Int VLSI Multilevel Interconnect Conf 1997)
Page： 609-611  Publication year： 1997 
JST Material Number： K19970517  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (1)： BPSG