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J-GLOBAL ID：200902190137620680   Reference number：95A0621589

Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma Enhanced SiGe Oxidation and MOS Transistors.

電子サイクロトロン共鳴マイクロ波プラズマ促進SiGe酸化とMOSトランジスタ
Author (4)：
LI P-W

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Material：
Institute of Physics Conference Series  (Inst Phys Conf Ser)

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Issue： 141  Page： 711-716  Publication year： 1995 
JST Material Number： E0403B  ISSN： 0305-2346  CODEN： IPHSAC  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)
Thesaurus term：
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electron cyclotron resonance plasma

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Transistors 
(NC03070N)

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