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J-GLOBAL ID：200902191266442604   Reference number：99A0178919

In situ monitoring of InAsP surface in MOVPE by means of ellipsometry.

MOVPEにおけるInAsP成長のその場エリプソ観測

Author (4)： KURIHARA KAORI (NEC) ,  ANAN TAKAYOSHI (NEC) ,  NISHI KEN'ICHI (NEC) ,  SUGO SHIGEO (NEC)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 59th  Issue： 1  Page： 278  Publication year： Sep. 1998 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： MOVPE ,  InAsP ,  成長 ,  観測