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J-GLOBAL ID：200902191316875671   Reference number：94A0049453

Improvement of Adherence between Diamond Film and Silicon Nitride Substrate.

ダイヤモンド被膜の窒化ケイ素基板への密着性の改善

Author (4)： SHIMURA SADANORI (名古屋大 工) ,  ITO HIDEAKI (名古屋大 工) ,  IWAHARA HIROYASU (名古屋大 工) ,  SAKAMOTO HIROMICHI (シグマコーティング技研)
Material： 人工結晶討論会講演要旨集
Volume： 38th  Page： 61-62  Publication year： Sep. 1993 
JST Material Number： L1397A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： ダイヤモンド ,  被膜 ,  窒化 ,  ケイ素基板 ,  密着性