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J-GLOBAL ID：200902192117812624   Reference number：02A0347465

Reactive oxygen beam generation system using pulsed laser evaporation of highly concentrated solid ozone.

高濃縮固体オゾンのパルスレーザ蒸発を用いた反応性酸素ビームの発生システム

Author (6)： NISHIGUCHI T (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  MORIKAWA Y (Meidensha Corp., Shizuoka, JPN) ,  KEKURA M (Meidensha Corp., Shizuoka, JPN) ,  MIYAMOTO M (Meidensha Corp., Shizuoka, JPN) ,  NONAKA H (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  ICHIMURA S (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
Material： Review of Scientific Instruments  (Rev Sci Instrum)
Volume： 73  Issue： 3,Pt.1  Page： 1217-1223  Publication year： Mar. 2002 
JST Material Number： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： concentration(enrichment) ,...

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JST classification (2)： Atomic beams,molecular beams  (BH01020Z) ,  Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I)

Terms in the title (8)： 濃縮 ,  固体 ,  オゾン ,  パルスレーザ ,  蒸発 ,  反応性酸素 ,  ビーム ,  発生システム