Art

J-GLOBAL ID：200902192355115109   Reference number：01A0990539

Structural features of thick c-boron nitride coatings deposited via a graded B-C-N interlayer.

傾斜B-C-N中間層を伴って堆積した厚いc-窒化ほう素皮膜の構造的性質

Author (5)： YAMAMOTO K (Fraunhofer-Inst. Schicht- und Oberflaechentechnik, Braunschweig, DEU) ,  KEUNECKE M (Fraunhofer-Inst. Schicht- und Oberflaechentechnik, Braunschweig, DEU) ,  BEWILOGUA K (Fraunhofer-Inst. Schicht- und Oberflaechentechnik, Braunschweig, DEU) ,  CZIGANY Z (Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE) ,  HULTMAN L (Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 142/144  Page： 881-888  Publication year： Jul. 2001 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *boron nitride ,...
Semi thesaurus term： SIMS分析 ,...

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (5)： 中間層 ,  堆積 ,  窒化ほう素 ,  皮膜 ,  構造的性質