Art

J-GLOBAL ID：200902192733864204   Reference number：97A0704623

Noncontact semiconductor wafer characterization with the terahertz Hall effect.

テラヘルツHall効果による半導体ウエハの非接触評価

Author (4)： MITTLEMAN D M (Bell Lab., New Jersey) ,  CUNNINGHAM J (Bell Lab., New Jersey) ,  NUSS M C (Bell Lab., New Jersey) ,  GEVA M (Lucent Technol. Microelectronics, Pennsylvania)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 71  Issue： 1  Page： 16-18  Publication year： Jul. 07, 1997 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： Hall mobility ,...

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JST classification (1)： Electric conduction in other inorganic compounds  (BM03044O)

Terms in the title (5)： テラヘルツ ,  Hall効果 ,  半導体ウエハ ,  非接触 ,  評価