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J-GLOBAL ID：200902193591545943   Reference number：96A0622939

Synthesis of TiO₂ Film by Medium Vacuum Arc Deposition Method and Its Crystallization.

中真空アーク蒸着法によるTiO₂薄膜の生成とその結晶化

Author (4)： SASAOKA TSUYOSHI (豊橋技科大) ,  MATSUO HIRONOBU (豊橋技科大) ,  TAKIKAWA HIROFUMI (豊橋技科大) ,  SAKAKIBARA TATEKI (豊橋技科大)
Material： 電気学会開閉保護研究会資料  (電気学会研究会資料)
Volume： SP-96  Issue： 17-25  Page： 61-70  Publication year： Jun. 03, 1996 
JST Material Number： Z0966B  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： vacuum deposition ,...

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (11)：

• 菱田. セラミックス材料としてのTiO_2の化学. ニューセラミックス. 1991, 1, 49
• 藤嶋. 光励起された酸化チタン表面-光触媒反応の新しい流れ. 日本応用物理学会誌. 1995, 64, 8
• 垰田. 二酸化チタン多孔質光触媒-環境にやさしい環境浄化材料-. 工業技術. 1995, 14-15
• SOPHYAN, I. Highly Efficient TiO_2 Film Photocatalyst. Degradation of Gaseous Acetaldehyde. CHEMISTRY LETTERS. 1994, 723-726
• WATANABE, T. Photocatalytic Activity of TiO2 Thin Film under Room Light. Photocatalytic Purification and Treatment of Water and Air. 1993, 747-751

Terms in the title (4)： 真空アーク蒸着 ,  TiO2 ,  薄膜 ,  結晶化