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J-GLOBAL ID：200902193845803840   Reference number：98A0422047

Spring stage for 3-dimensional positioning. Report No. 3. Examination on the structure and simulation.

3次元位置決め用ばねステージ 第1報 構造とシミュレーション検討

Author (4)： KAMI YOSHIHIRO (オリンパス) ,  SAKAI NOBUAKI (オリンパス) ,  TAKAHASHI HAJIME (オリンパス) ,  YOSHIMURA YASUO (東京工高専)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1998  Issue： 春季  Page： 712  Publication year： Mar. 1998 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Reference (1)：

• 久曽神煌. 板ばねを利用した直動および回転機構. 1986年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1986, 13

Terms in the title (4)： 3次元 ,  ばね ,  ステージ ,  シミュレーション