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J-GLOBAL ID：200902195416926961   Reference number：02A0646510

微粒子,超微粒子の衝突固化現象を用いたセラミックス薄膜形成技術 エアロゾルデポジション法による低温・高速コーティング

Author (2)： AKEDO JUN (産業技術総合研 機械システム研究部門) ,  LEBEDEV M (産業技術総合研)
Material： まてりあ  (Materia Japan)
Volume： 41  Issue： 7  Page： 459-466  Publication year： Jul. 20, 2002 
JST Material Number： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： aerosol (suspended solids) ,...
Semi thesaurus term： PZT ,...

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JST classification (2)： Ceramic coating to metallic materials  (YC02050V) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (67)：

• (1) D. K. Potter and T. J. Ahrens: Appl. Phys. Lett., 51 (1987), 317-319.
• (2) H. Hirai and K. Kondo: Science, 253 (1991), 772-774.
• (3) L. E. Murr, A. W. Hare and N. G. Eror: Nature, 329 (1987), 37-39.
• (4) C. L. Seaman et al.: Appl. Phys. Lett., 57 (1990), 93-95.
• (5) T. Negishi et al.: J. Mater. Sci., 20 (1985), 399-406.

Terms in the title (9)： 微粒子 ,  衝突 ,  固化 ,  現象 ,  セラミックス ,  薄膜形成技術 ,  エアロゾルデポジション法 ,  低温 ,  コーティング