Art

J-GLOBAL ID：200902196105464227   Reference number：97A0555864

A new MEMS wafer probe card.

新しいMEMSウエハプローブカード

Author (5)： ZHANG Y (New Jersey Inst. Technol., NJ) ,  ZHANG Y (New Jersey Inst. Technol., NJ) ,  WORSHAM D (Pacific Western Systems, Inc., CA) ,  MORROW D (Pacific Western Systems, Inc., CA) ,  MARCUS R B (New Jersey Inst. Technol., NJ)
Material： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)
Volume： 10th  Page： 395-399  Publication year： 1997 
JST Material Number： W0377A  ISSN： 1084-6999  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： wafer ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=97A0555864&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=W0377A") }}

JST classification (1)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Terms in the title (3)： MEMS ,  ウエハ ,  プローブカード