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J-GLOBAL ID：200902196254576461   Reference number：01A0068966

水晶摩擦真空計を用いた2成分混合気体の濃度計測

Author (4)： KUROKAWA AKIRA (電総研) ,  ICHIMURA SHINGO (電総研) ,  NONAKA HIDEHIKO (電総研) ,  HOJO HISAO (バキュームプロダクツ)
Material： 真空に関する連合講演会講演予稿集
Volume： 41st  Page： 95-96  Publication year： Oct. 25, 2000 
JST Material Number： L1308A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Partial Pressure ,...

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JST classification (1)： Vacuum production and techniques  (BA02020L)

Terms in the title (6)： 水晶 ,  摩擦 ,  真空計 ,  2成分 ,  混合気体 ,  濃度計測