Art

J-GLOBAL ID：200902196260853019   Reference number：99A0484017

Silicon microcolumn arrays grown by nanosecond pulsed-excimer laser irradiation.

ナノ秒パルス化エキシマレーザ照射により成長させたケイ素微小円柱のアレイ

Author (3)： PEDRAZA A J (Univ. Tennessee, Tennessee) ,  FOWLKES J D (Univ. Tennessee, Tennessee) ,  LOWNDES D H (Oak Ridge National Lab., Tennessee)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 74  Issue： 16  Page： 2322-2324  Publication year： Apr. 19, 1999 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： semiconductor thin film ,...

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JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (7)： ナノ秒パルス ,  エキシマレーザ ,  成長 ,  ケイ素 ,  微小 ,  円柱 ,  アレイ