Art

J-GLOBAL ID：200902196324201908   Reference number：97A0831935

Particle Assemblage by Electron and Ion Beams. A novel fabrication method at the micrometer scale.

電子・イオンビームによる粒子アセンブル 新しいマイクロメータサイズの構造制御

Author (4)： KOBAYASHI MIKIHIKO (金材技研) ,  FUDOJI HIROSHI (金材技研) ,  HASE MASASHI (金材技研) ,  SHIN'YA NORIO (金材技研)
Material： 固体物理  (Solid State Physics)
Volume： 32  Issue： 9  Page： 755-761  Publication year： Sep. 1997 
JST Material Number： F0158B  ISSN： 0454-4544  CODEN： KOTBA2  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： fine particle ,...
Semi thesaurus term： handling

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (5)： 電子 ,  イオンビーム ,  マイクロメータ ,  サイズ ,  構造制御