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J-GLOBAL ID：200902196470272353   Reference number：95A0568877

Effect of the Carbon Source Gas Changes on Diamond Growth by Microwave assist RF Plasma CVD.

RFとマイクロ波を併用したプラズマCVDを用いたダイヤモンド形成における炭素源ガス変化の影響

Author (7)： YAMADA KOJI (名城大 理工) ,  MIZUNO ETSUKO (名城大 理工) ,  HIRAMATSU MINEO (名城大 理工) ,  NAWATA MASATO (名城大 理工) ,  IKEDA MASANOBU (名古屋大 工) ,  HORI MASARU (名古屋大 工) ,  GOTO TOSHIO (名古屋大 工)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 42nd  Issue： Pt 2  Page： 372  Publication year： Mar. 1995 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (6)： RF ,  マイクロ波 ,  併用 ,  プラズマCVD ,  ダイヤモンド ,  炭素源