Art

J-GLOBAL ID：200902197849597310   Reference number：96A0487869

Nanolithographic templates from diblock copolymer thin films.

ジブロック共重合体薄膜からのナノリソグラフィックテンプレート

Author (5)： MANSKY P (Princeton Univ., New Jersey) ,  HARRISON C K (Princeton Univ., New Jersey) ,  CHAIKIN P M (Princeton Univ., New Jersey) ,  REGISTER R A (Princeton Univ., New Jersey) ,  YAO N (Princeton Univ., New Jersey)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 68  Issue： 18  Page： 2586-2588  Publication year： Apr. 29, 1996 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： diblock copolymer ,...
Semi thesaurus term： template

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JST classification (1)： Thin films of organic compounds  (BK14070L)

Terms in the title (2)： ジブロック共重合体 ,  薄膜