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J-GLOBAL ID：200902198019765870
Reference number：94A0774567
New submicron dimension reference for electron-beam metrology system.
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Author (2)：
,
Material：
Volume：
2196
Page：
74-84
Publication year：
1994
JST Material Number：
D0943A
ISSN：
0277-786X
CODEN：
PSISDG
Document type：
Proceedings
Country of issue：
United States (USA)
Language：
ENGLISH (EN)
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