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J-GLOBAL ID：200902198595265955   Reference number：98A0223391

Dielectric property of (TiO₂)_x-(Ta₂O₅)_1-x thin films.

(TiO₂)_x-(Ta₂O₅)_1-x薄膜の誘電特性

Author (3)： GAN J-Y (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  CHANG Y C (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  WU T B (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 72  Issue： 3  Page： 332-334  Publication year： Jan. 19, 1998 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： paraelectrics ,...

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JST classification (1)： Dielectrics in general  (BM05010F)

Terms in the title (4)： TiO2 ,  Ta2O5 ,  薄膜 ,  誘電特性