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J-GLOBAL ID：200902198839710743   Reference number：01A1028389

High-Efficiency Low Energy Neutral Beam Generation Using Negative Ions in Pulsed Plasma.

パルスプラズマ中の負イオンを使用した高効率低エネルギー中性ビームの発生

Author (3)： SAMUKAWA S (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  SAKAMOTO K (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  ICHIKI K (Ebara Res. Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 40  Issue： 10A  Page： L997-L999  Publication year： Oct. 01, 2001 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *neutral beam ,...

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JST classification (2)： Applications of plasma  (BJ02110K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (13)：

• 1) T. Nozawa and T. Kinoshita: Jpn. J. Appl. Phys. 34 (1995) 2107.
• 2) T. Kinoshita, M. Hane and J. P. McVittee: J. Vac. Sci. & Technol. B<B>14</B> (1996) 560.
• 3) H. Ootera, T. Oomori, M. Tsuda and K. Namba: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) 4276.
• 4) H. Ohtake and S. Samukawa: Proc. 17th Dry Process Symp. (Institute of Electrical Engineering of Japan, Tokyo, 1995) p. 45.
• 5) K. P. Cheung and C. S. Pai: IEEE Device Lett. 16 (1995) 220.

Terms in the title (5)： パルスプラズマ ,  負イオン ,  高効率 ,  低エネルギー ,  中性ビーム