Art

J-GLOBAL ID：200902198911402234   Reference number：97A0043508

Modulated pitch phase grating for optical encoder independent of the air gap.

空隙の光学エンコーダー非依存性のための変調ピッチ位相格子

Author (5)： POSADA P (Tohoku Univ.) ,  HANE K (Tohoku Univ.) ,  IEKI A (Okuma Co. Ltd.) ,  MATSUI K (Okuma Co. Ltd.) ,  NASHIKI M (Okuma Co. Ltd.)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1996  Issue： Spring 3  Page： 1103-1104  Publication year： Mar. 1996 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Reference (2)：

• IEKI, A. Optical encoder using modulated pitch grating. J. Jpn. Soc. Prec. Eng. 1995, 61, 1312-1316
• TORII, Y. Theory of alignment by diffraction from superimposed dual gratings. J. Opt. Soc. Am. 1978, 68, 1716-1731

Terms in the title (7)： 空隙 ,  光学 ,  エンコーダー ,  非依存性 ,  変調 ,  ピッチ ,  位相格子