Art

J-GLOBAL ID：200902199039678929   Reference number：02A0370218

Screw and edge dislocations-induced internal strain around micropipes of 6H-SiC single crystals.

6H-SiC単結晶のマイクロパイプ周辺の螺旋転位および刃状転位によって誘発される内部歪み

Author (3)： OHSATO H (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  KATO T (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  OKUDA T (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
Material： Materials Science in Semiconductor Processing  (Mater Sci Semicond Process)
Volume： 4  Issue： 6  Page： 483-487  Publication year： Dec. 2001 
JST Material Number： W1055A  ISSN： 1369-8001  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *edge dislocation ,...
Semi thesaurus term： マイクロパイプ ,...

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JST classification (2)： Microscopy determination of structures  (BK01040E) ,  Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Terms in the title (8)： 6H-SiC ,  単結晶 ,  マイクロパイプ ,  周辺 ,  螺旋転位 ,  刃状転位 ,  誘発 ,  内部歪み