Art

J-GLOBAL ID：200902199374352906   Reference number：99A0278719

“Dip-Pen” Nanolithography.

浸漬-ペンによる微小リソグラフィ

Author (5)： PINER R D (Northwestern Univ., IL, USA) ,  ZHU J (Northwestern Univ., IL, USA) ,  XU F ,  HONG S (Northwestern Univ., IL, USA) ,  MIRKIN C A (Northwestern Univ., IL, USA)
Material： Science
Volume： 283  Issue： 5402  Page： 661-663  Publication year： Jan. 29, 1999 
JST Material Number： E0078A  ISSN： 0036-8075  CODEN： SCIEA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *atomic force microscope ,...
Semi thesaurus term： AFM【顕微鏡】 ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Terms in the title (4)： 浸漬 ,  ペン ,  微小 ,  リソグラフィ