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J-GLOBAL ID：200902199949630814   Reference number：02A0692308

Surface-Free Technology by Laser Annealing (SUFTLA) and Its Application to Poly-Si TFT-LCDs on Plastic Film With Integrated Drivers.

レーザアニーリングによる表面フリー技術(SUFTLA)と駆動回路集積プラスチック薄膜ポリシリコンTFT-LCDへの応用

Author (4)： INOUE S (Seiko Epson Corp., Nagano, JPN) ,  UTSUNOMIYA S (Seiko Epson Corp., Nagano, JPN) ,  SAEKI T (Seiko Epson Corp., Nagano, JPN) ,  SHIMODA T (Seiko Epson Corp., Nagano, JPN)
Material： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Trans Electron Devices)
Volume： 49  Issue： 8  Page： 1353-1360  Publication year： Aug. 2002 
JST Material Number： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *liquid crystal display ,...

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JST classification (3)： Display equipment  (NC06030Q) ,  Semiconductor integrated circuit  (NC03162T) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： レーザアニーリング ,  駆動回路 ,  集積 ,  プラスチック薄膜 ,  ポリシリコン ,  TFT-LCD ,  応用