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J-GLOBAL ID：200902200062121352   Reference number：05A1032825

Development of a small ultraprecision positioning device with 5 nm resolution

5nmの解像能を持つ小型超精密位置決め装置の開発

Author (4)： OTSUKA Jiro (Shizuoka Inst. of Sci. and Technol., Shizuoka, JPN) ,  ICHIKAWA Soji (Sigma-Tech Ltd, Saitama, JPN) ,  MASUDA Tomio (Sigma-Tech Ltd, Saitama, JPN) ,  SUZUKI Kazuhiro (Enomoto Ind. Ltd, Shizuoka, JPN)
Material： Measurement Science and Technology  (Meas Sci Technol)
Volume： 16  Issue： 11  Page： 2186-2192  Publication year： Nov. 2005 
JST Material Number： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *resolving power ,...
Semi thesaurus term： motor control

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Terms in the title (4)： 解像能 ,  超精密 ,  位置決め装置 ,  開発