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J-GLOBAL ID：200902200825569910   Reference number：03A0090230

マイクロマシーニング技術による熱膨張アクチュエータ一体型ナノグリッパーの開発

Author (7)： HASHIGUCHI GEN (香川大 工) ,  FUKINO TAKEO (香川大 工) ,  HARA TAKAFUMI (香川大 工) ,  MIYAKE JUN'YA (香川大 工) ,  KAKULSHIMA KUNIYUKI (東大 生産技研) ,  ATAKA MANABU (東大 生産技研) ,  FUJITA HIROYUKI (東大 生産技研)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 123-E  Issue： 1  Page： 1-8  Publication year： Jan. 01, 2003 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *micromachining ,...
Semi thesaurus term： ナノグリッパ ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Research methods in genetics  (EC01020N)

Reference (17)：

• BOGGILD, P. Scanning nanoscale multiprobes for conductivity measurements. Rev. Sci. Instr. 2000, 71, 7, 2781-2783
• 藤岡聡太. ナノメーターサイズのプローブを用いた単一DNAの切断と断片の単離. 医用電子と生体工学. 2001, 39, 280
• KAKUSHIMA, K. Micromachined Tools for Nano Technology -Twin Nano-Probes and Nano-Scale Gap Control by Integrated Microactuators. Proc. MEMS2001, Interlaken, Switzerland. 2001, 294-297
• WATANABE, H. Single molecule DNA device measured with triple-probe atomic force microscope. Appl. Phys. Lett. 2001, 79, 15, 2462-2464
• AKITA, S. Nanotweezers consisting of carbon nanotubes operating in an atomic force microscope. Appl. Phys. Lett. 2001, 79, 11, 1691-1693

Terms in the title (6)： マイクロマシーニング ,  熱膨張 ,  アクチュエータ ,  体型 ,  グリッパー ,  開発