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J-GLOBAL ID：200902201327882470   Reference number：08A0938726

Contrasting characteristics of linear-field and cross-field atmospheric plasma jets

線形場及び交差場大気圧プラズマジェットの対照的特性

Author (2)： WALSH J. L. (Dep. of Electronic and Electrical Engineering, Loughborough Univ., Leices LE11 3TU, GBR) ,  KONG M. G. (Dep. of Electronic and Electrical Engineering, Loughborough Univ., Leices LE11 3TU, GBR)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 93  Issue： 11  Page： 111501  Publication year： Sep. 15, 2008 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： field ,  *plasma jet ,  atmospheric pressure ,  *electric field effect ,  flow field ,  polyimide ,  *machining speed ,  etching ,  plasma treatment
Semi thesaurus term： *etch rate ,  交差場 ,  線形場 ,  atomospheric pressure

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： 線形 ,  交差 ,  大気圧プラズマジェット ,  対照