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J-GLOBAL ID：200902201532505450   Reference number：04A0668241

MEMS設計・製造技術 MEMSの技術動向と設計技術の役割

Author (1)： FUJITA HIROYUKI (東大 生産技研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 70  Issue： 9  Page： 1133-1136  Publication year： Sep. 05, 2004 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *microelectronics ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (9)：

• 藤田博之. マイクロ・ナノマシン技術入門. 2003
• 江刺正喜. マイクロマシニングとマイクロメカトロニクス. 1992
• 江刺正喜. マイクロオプトメカトロニクスハンドブック. 1997
• Proceedings of IEEE. 1998, 86
• YAZDI, N. Proceedings of IEEE. 1998, 86, 1640

Terms in the title (5)： MEMS ,  設計 ,  製造技術 ,  動向 ,  役割