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J-GLOBAL ID：200902201586358437   Reference number：03A0748393

MEMSの現状と将来展望 MEMSの産業化とナノテクとの融合

Author (1)： HIRANO TAKAYUKI (マイクロマシンセ)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 54  Issue： 10  Page： 630-634  Publication year： Oct. 01, 2003 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： micromachining ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Special machining  (QC04000Y)

Reference (2)：

• 科学技術会議政策委員会. ナノテクノロジーの戦略推進に関する懇談会報告書. 2000
• (財)マイクロマシンセンター. マイクロ・ナノ融合領域における機能発現及びプロセス技術に関する調査研究(NEDO調査委託報告書). 2002

Terms in the title (6)： MEMS ,  現状 ,  将来展望 ,  産業化 ,  ナノテク ,  融合