Art

J-GLOBAL ID：200902202818223785   Reference number：09A0773550

Shaped silicon wafers obtained by hot plastic deformation: performance evaluation for future astronomical x-ray telescopes

高温塑性変形で得られた成形シリコンウエハ: 将来の天文X線望遠鏡のための性能評価

Author (7)： EZOE Yuichiro ,  SHIRATA Takayuki ,  MITSUISHI Ikuyuki ,  ISHIDA Manabu ,  MITSUDA Kazuhisa ,  MORISHITA Kohei ,  NAKAJIMA Kazuo
Material： Applied Optics  (Lasers, Photonics, and Environmental Optics)
Volume： 48  Issue： 19  Page： 3830  Publication year： Jul. 01, 2009 
JST Material Number： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *wafer ,  semiconductor material ,  silicon ,  *X-ray telescope ,  performance evaluation ,  plastic deformation ,  high temperature ,  *astronomical telescope ,  resolving power ,  X-ray reflection ,  surface roughness ,  reflecting mirror ,  curvature ,  formability ,  hemisphere
Semi thesaurus term： *Si wafer ,  angular resolution ,  curvature radius

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Cosmic ray and astrophysical observing technology  (DB01000N)

Terms in the title (4)： 塑性変形 ,  シリコンウエハ ,  X線望遠鏡 ,  性能評価