Art

J-GLOBAL ID：200902203053029345   Reference number：08A0776528

Process for the fabrication of hollow core solenoidal microcoils in borosilicate glass

ホウケイ酸ガラス中への中空コアソレノイドマイクロコイルの製作のためのプロセス

Author (5)： KLEIN Mona J K (Univ. Freiburg, DEU) ,  KLEIN Mona J K (CSEM, Neuchatel, CHE) ,  ONO Takahito (Tohoku Univ., JPN) ,  ESASHI Masayoshi (Tohoku Univ., JPN) ,  KORVINK Jan G (Univ. Freiburg, DEU)
Material： Journal of Micromechanics and Microengineering  (J Micromech Microeng)
Volume： 18  Issue： 7  Page： 075002,1-6  Publication year： Jul. 2008 
JST Material Number： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *micromachining ,  *solenoid coil ,  borosilicate glass ,  *production process ,  NMR imaging ,  receiver ,  Copper ,  bonding and joining ,  wafer ,  hybrid integrated circuit ,  anodic bonding
Semi thesaurus term： ガラスウエハ

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  LCR parts  (NA05030D)

Terms in the title (4)： ホウケイ酸ガラス ,  中空 ,  製作 ,  プロセス