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J-GLOBAL ID：200902203825848878   Reference number：09A0177062

Laser Ablation of Copper in Supercritical Carbon dioxide

超臨界二酸化炭素中での銅板へのレーザアブレーション

Author (5)： GOTO Motonobu (Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN) ,  KUWAHARA Yutaka (Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN) ,  SAITO Takashi (Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN) ,  HABA Minori (Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN) ,  SASAKI Mitsuru (Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN)
Material： プラズマ科学シンポジウム/プラズマプロセシング研究会プロシーディングス  (プラズマプロセシング研究会プロシーディングス)
Volume： 2009-26th  Page： 94-95  Publication year： 2009 
JST Material Number： L4449A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *laser ablation ,  *carbon dioxide ,  Nd-YAG laser ,  scanning electron microscope ,  *supercritical carbon dioxide
Semi thesaurus term： *copper plate ,  laser microscope

JST classification (1)： Crystal growth of metals  (BK13030M)

Terms in the title (3)： 超臨界二酸化炭素 ,  銅板 ,  レーザアブレーション