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J-GLOBAL ID：200902203935263492   Reference number：06A0021823

High-Q UHF Micromechanical Radial-Contour Mode Disk Resonators

高Q UHFマイクロマシン半径方向輪郭モード円板共振器

Author (5)： CLARK John R. (Univ. Michigan, MI, USA) ,  HSU Wan-Thai (Univ. Michigan, MI, USA) ,  ABDELMONEUM Mohamed A. (Univ. Michigan, MI, USA) ,  NGUYEN Clark T.-C. (Univ. Michigan, MI, USA) ,  NGUYEN Clark T.-C. (DARPA, VA, USA)
Material： Journal of Microelectromechanical Systems  (J Microelectromechanical Syst)
Volume： 14  Issue： 6  Page： 1298-1310  Publication year： Dec. 2005 
JST Material Number： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： electromechanical effect ,...

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JST classification (1)： Resonator  (NC04050Y)

Terms in the title (6)： UHF ,  マイクロマシン ,  半径方向 ,  輪郭 ,  円板 ,  共振器