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J-GLOBAL ID：200902204827169605   Reference number：09A1252914

Texture and orientation characteristics of α-Al₂O₃ films prepared by laser chemical vapor deposition using Nd:YAG laser

Nd:YAGレーザーを用いたレーザー化学蒸着法により作製したα-Al₂O₃薄膜の集合組織と方位特性

Author (4)： ITO Akihiko (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  KADOKURA Hokuto (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  KIMURA Teiichi (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  GOTO Takashi (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN)
Material： Journal of Alloys and Compounds  (J Alloy Compd)
Volume： 489  Issue： 2  Page： 469-474  Publication year： Jan. 21, 2010 
JST Material Number： D0083A  ISSN： 0925-8388  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Aluminum Oxide ,  laser deposition ,  *ceramic membrane ,  *texture (metal) ,  *crystal orientation ,  heating temperature ,  Pressure

JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (9)： Nd ,  YAGレーザー ,  レーザー ,  化学蒸着法 ,  作製 ,  α-AL2O3 ,  薄膜 ,  集合組織 ,  方位