Art

J-GLOBAL ID：200902205580796675   Reference number：08A0286240

Etching Behavior of Poly(vinylidene fluoride) Thin Films Irradiated with Ion Beams-Effect of Irradiated Ions and Pretreatment

イオンビーム照射ポリフッ化ビニリデン薄膜のエッチング挙動 エッチング前処理・照射イオン効果の検討

Author (9)： YAMAKI TETSUYA ((独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門) ,  ROHANI Rosiah ((独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門) ,  KOSHIKAWA HIROSHI ((独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門) ,  TAKAHASHI SHUICHI ((独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門) ,  HASEGAWA SHIN ((独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門) ,  ASANO MASAHARU ((独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門) ,  VOSS Kay-obbe (Materials Res. Dep., Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH (GSI)) ,  NEUMANN Reinhard (Materials Res. Dep., Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH (GSI)) ,  MAEKAWA YASUNARI ((独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門)
Material： 高分子論文集  (Japanese Journal of Polymer Science and Technology)
Volume： 65  Issue： 3  Page： 273-276 (J-STAGE)  Publication year： 2008 
JST Material Number： G0122A  ISSN： 0386-2186  CODEN： KBRBA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *etching ,  *ion beam machining ,  *ion irradiation ,  polyvinylidene fluoride ,  potassium hydroxide ,  electrical conductivity ,  heating ,  Linear Energy Transfer ,  active site ,  high sensitivity
Semi thesaurus term： linear energy transfer ,  エッチング能 ,  electrical conductivity

JST classification (1)： Physical properties of polymer solids  (CG02024U)

Reference (12)：

• 1) R. Spohr, “Ion Tracks and Microtechnology: Principles and Applications”, Vieweg Verlag, Wiesbaden (1990).
• 2) T. Yamaki, Y. Kozone, A. Hiroki, M. Asano, H. Kubota, and M. Yoshida, ECS Transactions, 3, 103 (2006).
• 3) T. Yamaki, Y. Kozone, A. Hiroki, K. Hosoi, M. Asano, H. Kubota, and M. Yoshida, Electrochemistry, 75, 175 (2007).
• 4) H. Kohli, C. C. Harrel, Z. Cao, R. Gasparac, W. Tan, and C. R. Martin, Science, 305, 984 (2004).
• 5) S. P. Tretyakova, V. V. Shirkova, N. B. Khitrova, and C. Borcea, Int. J. Radiat. Appl. Instrum. Part D, 12, 75 (1986).

Terms in the title (7)： イオンビーム照射 ,  ポリフッ化ビニリデン ,  薄膜 ,  エッチング ,  挙動 ,  前処理 ,  イオン