Art

J-GLOBAL ID：200902207087108444   Reference number：08A0964215

複合ビーム加工観察装置JIB-4500の特長

Author (1)： SUZUKI TOSHIAKI (日本電子)
Material： 日本電子News
Volume： 40  Page： 52-53  Publication year： 2008 
JST Material Number： Y0013A  ISSN： 0386-6572  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ion beam machining ,  electron beam machining ,  *scanning electron microscope ,  high-resolution ,  sample preparation ,  *focused ion beam ,  *electron microscopy
Semi thesaurus term： laser beam machining ,  sample preparation

JST classification (2)： Microscopy determination of structures  (BK01040E) ,  Special machining  (QC04000Y)

Terms in the title (3)： ビーム ,  観察装置 ,  特長