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J-GLOBAL ID：200902207303491703   Reference number：05A0432685

Controlling the synthesis of TaC nanopowders by injecting liquid precursor into RF induction plasma

RF誘導プラズマ中への液体前駆体の吹込みによるTaCナノ粉体の合成の制御

Author (4)： ISHIGAKI Takamasa (National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  OH Seung-Min (National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  LI Ji-Guang (National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  PARK Dong-Wha (Inha Univ., Incheon, KOR)
Material： Science and Technology of Advanced Materials  (Sci Technol Adv Mater)
Volume： 6  Issue： 2  Page： 111-118  Publication year： Mar. 2005 
JST Material Number： W1262A  ISSN： 1468-6996  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： radiofrequency discharge ,...
Semi thesaurus term： *plasma treatment ,...

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JST classification (2)： Salts  (CD01050V) ,  Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V)

Substance index (1)： Pentaethoxytantalum(V)

Terms in the title (6)： RF ,  誘導プラズマ ,  前駆体 ,  吹込み ,  TAC ,  ナノ粉体