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J-GLOBAL ID：200902207718811789   Reference number：05A0392797

Three-dimensional micro-machining for fiber type optical control devices

ファイバ型光制御デバイスのための三次元的微細加工

Author (4)： KUMAZAKI HIRONORI (岐阜工高専) ,  INABA SEIKI (岐阜工高専) ,  HANE KAZUHIRO (東北大) ,  NASU YUJI (関西電力 野江電力システムセ)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 125  Issue： 5  Page： 211-215  Publication year： May. 01, 2005 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *optical fiber ,...
Semi thesaurus term： ファイバ型デバイス ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H)

Reference (10)：

• (1) S. Yamashita : “Present status and future prospects of fiber devices”, Oyo buturi, Vol. 73, No. 11, pp. 1385-1395 (2004-11) (in Japanese)
• 山下真司:「光ファイバー型デバイスの現状と展望」,応用物理,Vol. 73, No. 11, pp. 1385-1395 (2004)
• (2) S. Mononobe, M. Naya, T. Saiki, and M. Ohtsu : “Reproducible fabrication of a fiber probe with a nanometric protrusion for near-field optics”, Appl. Optics, Vol. 36, No. 7, pp. 1496-1500 (1997)
• (3) C. H. Lee, S. D. Allen : “Noncontact single-fiber-optic proximity sensor using a laser-fabricated tap”, Appl. Optics, Vol. 36, No. 10, pp. 2217-2221 (1997)
• (4) H. Kumazaki, Y. Yamada, T. Oshima, S. Inaba, and K. Hane : “Micromachining of Optical Fiber Using Reactive Ion Etching and Its Application”, Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 39, No. 12B, pp. 7142-7144 (2000)

Terms in the title (3)： ファイバ ,  光制御デバイス ,  微細加工