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J-GLOBAL ID：200902208029633063   Reference number：05A0223701

Microphotonics Devices Based on Silicon Microfabrication Technology.

けい素の微細加工技術に基づくマイクロフォトニックスデバイス

Author (9)： TSUCHIZAWA T (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  YAMADA K (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  FUKUDA H (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  WATANABE T (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  TAKAHASHI J (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  TAKAHASHI M (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  SHOJI T (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  TAMECHIKA E (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  ITABASHI S (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN)
Material： IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics  (IEEE J Sel Top Quantum Electron)
Volume： 11  Issue： 1  Page： 232-240  Publication year： Jan. 2005 
JST Material Number： W0734A  ISSN： 1077-260X  CODEN： IJSQEN  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *integrated optics ,...
Semi thesaurus term： machining accuracy

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JST classification (1)： Optical integrated circuits,integrated optics  (BD06050D)

Terms in the title (2)： けい素 ,  微細加工技術