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J-GLOBAL ID：200902209434269189   Reference number：03A0433450

XPS Analysis of Dopant Penetration in Joined p-n Silicon-Germanium Semiconductor

p-n接合シリコン-ゲルマニウムにおけるドーパント移動のXPS分析

Author (4)： OTAKE M (Hamamatsu Industrial Res. Inst., Shisuoka) ,  SATO K (Hamamatsu Industrial Res. Inst., Shisuoka) ,  SUGIYAMA O (Fuji Industrial Res. Inst., Shizuoka) ,  KANEKO S (Shizuoka Univ., Shisuoka)
Material： 日本セラミックス協会学術論文誌  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
Volume： 111  Issue： 1294  Page： 436-438  Publication year： Jun. 01, 2003 
JST Material Number： F0382A  ISSN： 0914-5400  CODEN： JCSJEW  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *PN junction ,...
Semi thesaurus term： パルス通電焼結 ,...

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JST classification (3)： Semiconductor-semiconductor contacts with Gr.13-15 element compounds  (BM03082Y) ,  Diffusion in solids in general  (BL06021L) ,  Physical analysis of elements in inorganic substances  (CC03022H)

Reference (13)：

• 1) Iwamoto, T. and Tokita, S., Proc. 17th Int. Conf. on Thermoelectrics, International Thermoelectrics Society (1998) pp. 456-459.
• 2) Noguchi, T., Proc. 16th Int. Conf. on Thermoelectrics, International Thermoelectrics Society (1997) pp. 207-214.
• 3) Shin, W., Murayama, N., Ikeda, K. and Sago, S., Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 39, pp. 1254-1255 (2000).
• 4) Noguchi, T., Masuda, T. and Nitta, J., Proc. 17th Int. Conf. on Thermoelectrics, International Thermoelectrics Society (1998) pp. 406-409.
• 5) Yang, J.Y., Abstr. of Spring Meeting of Japan Soc. of Powd. and Powd. Metall., The Japan Society of Powder and Powder Metallurgy (2000) pp. 198-198.

Terms in the title (5)： p-n接合 ,  シリコン ,  ゲルマニウム ,  ドーパント ,  XPS分析