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J-GLOBAL ID：200902210654151438   Reference number：03A0433445

Characterization and Preparation of Transparent Mesostructure Silica Thin Films by Spin Coating Method

スピンコート法によるメソ構造を有する透明シリ力薄膜の作製と評価

Author (6)： KONAIYAMA KEN (東海大 工) ,  SAITO HIROYUKI (東海大 工) ,  HIGUCHI MASASHI (東海大 工) ,  ASAKA TAKASHI (東海大 工) ,  KATAYAMA KEIICHI (東海大 工) ,  AZUMA YASUO (東海大 工)
Material： 日本セラミックス協会学術論文誌  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
Volume： 111  Issue： 1294  Page： 413-418  Publication year： Jun. 01, 2003 
JST Material Number： F0382A  ISSN： 0914-5400  CODEN： JCSJEW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *thin film growth ,...
Semi thesaurus term： *silica ,...

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Substance index (2)： Tetraethoxysilane ,  Cetyltrimethylammonium bromide

Reference (36)：

• 1) Honma, I., Chem. Ind., Vol. 50, pp. 419-423 (1999) [in Japanese].
• 2) Kimuras, T. and Kuroda, K., Chem. Ind., Vol. 50, pp. 409-418 (1999) [in Japanese].
• 3) Tatumi, T. and Che, S., Mater. Integra., Vol. 3, pp. 50-56 (2000) [in Japanese].
• 4) Shigeno, T. and Kuroda, K., Mater. Integra., Vol. 2, pp. 29-33 (1999) [in Japanese].
• 5) Tatumi, T. and Che, S., Kinozairyo, Vol. 20, pp. 74-81 (2000) [in Japanese].

Terms in the title (5)： スピンコート ,  メソ構造 ,  薄膜 ,  作製 ,  評価