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J-GLOBAL ID：200902210800710550   Reference number：04A0772856

Young’s Modulus Control of the Micro Cantilever made by Micro-Stereolithography

マイクロ・ステレオ・リソグラフィーで作られた微小片持ちはりのYoung率の制御

Author (6)： MIWA M (Wakayama Univ., Wakayama, JPN) ,  DOUOKA K (Wakayama Univ., Wakayama, JPN) ,  YONEYAMA S (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  TUCHITANI S (Wakayama Univ., Wakayama, JPN) ,  KOSIHMOTO Y (Wakayama Univ., Wakayama, JPN) ,  KANEKO R (Wakayama Univ., Wakayama, JPN)
Material： Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium)
Volume： 21st  Page： 229-232  Publication year： Oct. 14, 2004 
JST Material Number： X0768A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *cantilever beam ,...

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JST classification (1)： Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Terms in the title (5)： ステレオ ,  リソグラフィー ,  微小 ,  片持ちはり ,  Young率