Art

J-GLOBAL ID：200902211048114205   Reference number：05A0197003

Real-time monitoring and process control in amorphous/crystalline silicon heterojunction solar cells by spectroscopic ellipsometry and infrared spectroscopy

非晶質/結晶からなるシリコン-ヘテロ接合型太陽電池に関する分光学的偏光解析法および赤外分光法によるリアルタイム監視とプロセス制御

Author (2)： FUJIWARA H (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  KONDO M (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 86  Issue： 3  Page： 032112.1-032112.3  Publication year： Jan. 17, 2005 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silicon ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0197003&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0613A") }}

JST classification (2)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Solar cell  (NC03084O)

Terms in the title (9)： 非晶質 ,  結晶 ,  シリコン ,  ヘテロ接合 ,  太陽電池 ,  分光学的偏光解析法 ,  赤外分光法 ,  リアルタイム監視 ,  プロセス制御