Art

J-GLOBAL ID：200902211673650930   Reference number：03A0136881

Reducing defects methodically through fab/vendor process and metrology collaboration.

ファブ/ベンダープロセスおよび計測共同開発を通しての欠陥の系統的低減

Author (9)： SCHREUTELKAMP R (Applied Materials Europe) ,  VAN DER REIJDEN M (Applied Materials Europe) ,  KING T (Applied Materials Europe) ,  MAST K (Applied Materials Europe) ,  ZONDAG J (Applied Materials Europe) ,  SAHR H (Philips Semiconductors) ,  CAVELAARS J (Philips Semiconductors) ,  SWAANEN M (Philips Semiconductors) ,  SHI L (Philips Semiconductors)
Material： MICRO  (MICRO (Los Angeles, Calif.))
Volume： 21  Issue： 1  Page： 41-48  Publication year： Jan. 2003 
JST Material Number： D0679B  ISSN： 1081-0595  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *flaw inspection ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0136881&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0679B") }}

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (8)： ファブ ,  ベンダー ,  プロセス ,  計測 ,  共同 ,  開発 ,  欠陥 ,  系統