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J-GLOBAL ID：200902212607910200   Reference number：03A0494469

Structure and optical spectrum of ZnO nanoparticles produced in RF plasma

RFプラズマ中で生成したZnOナノ粒子の構造と光学スペクトル

Author (9)： SATO T (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  TANIGAKI T (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  SUZUKI H (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  SAITO Y (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  KIDO O (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  KIMURA Y (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  KAITO C (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  TAKEDA A (ISI. Ltd., Saitama, JPN) ,  KANEKO S (Hitachi Instruments Serv. Co., Ltd., Tokyo, JPN)
Material： Journal of Crystal Growth  (J Cryst Growth)
Volume： 255  Issue： 3/4  Page： 313-316  Publication year： Aug. 2003 
JST Material Number： B0942A  ISSN： 0022-0248  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *zinc oxide ,...
Semi thesaurus term： plasma treatment

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JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (3)： RFプラズマ ,  ZnOナノ粒子 ,  光学スペクトル