Art

J-GLOBAL ID：200902213814342765   Reference number：09A0599173

Focusing of Ion Beams by Using a Capillary

キャピラリーによるイオンビームの収束

Author (6)： WATANABE KOJI (産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門) ,  KONDO KOJI (産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門) ,  FUJIWARA YUKIO (産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門) ,  SAITO NAOAKI (産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門) ,  NONAKA HIDEHIKO (産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門) ,  ICHIMURA SHINGO (産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門)
Material： Journal of the Vacuum Society of Japan  (真空)
Volume： 52  Issue： 3  Page： 117-120 (J-STAGE)  Publication year： 2009 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 1882-2398  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ion beam ,  *convergence ,  *argon ,  current density ,  *pipe ,  *Faraday cup ,  secondary electron emission ,  bias ,  *optimization
Semi thesaurus term： capillary tube

JST classification (1)： Electron and ion beams  (BD02030F)

Reference (2)：

• 1) T. Nebiki et al.: J. Vac. Sci. Technol. A, 21 (2003) 1671.
• 2) T. Ikeda, et al.: Appl Phys. Letter, 89 (2006) 163502

Terms in the title (3)： キャピラリー ,  イオンビーム ,  収束